TG-EE2型电子枪蒸发卷绕镀膜机

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产品品牌：中科唯实

产品型号：TG-EE2

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　　本机真空室为立式前开门箱式结构，真空室尺寸：Φ500mmX860mm。在镀膜室下部装有Φ220mm大坩埚电子枪，以保证有足够的膜料完成卷带镀膜。卷带卷绕系统装在真空室内上部；卷带宽10～40mm，厚20～100μm，长10～100m。卷带由放卷室进入镀膜室，再到收卷室。卷带走速由计算机进行控制。卷带在镀膜室中由电子枪蒸发完成镀膜。镀膜室中卷带的加热温度≥800℃。本机还配有氩和氧两路质量流量控制器。真空系统配F-250分子泵加2XZ-15直联机械泵。极限真空为4×10—4Pa。

　　本机主要作科研用。用来在金属带材上镀制特种功能膜（如超导膜）。

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