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转子围绕真空泵轴线旋转,驱动电机通过联轴节驱动真空泵轴。转子在圆形的泵体内旋转,泵体中心线偏离转子轴线,因此转子与泵体内壁形成线性接触,叶片沿着转子的滑槽滑动,将泵体和转子之间隔成多个工作腔,当工作腔和进气口相连时,吸入气体,随着转子的旋转,被吸入的气体被压缩,进而排除到油分离器内。恒定的压力差使真空润滑油进入压缩腔。润滑油和被抽气体一起进入油分离器,通过重力作用和油气滤网及排气过滤器的作用下使得油、气分离,润滑油回落到油分离器底部,进入油循环,不含油的气体通过排气口排向大气。
为了避免吸入固体颗粒,真空泵安装了吸气滤网。为了避免关闭电源后,叶片逆向旋转,真空泵安装了吸气阀。
注意:吸气阀不能作为真空系统止回阀或切断阀用,吸气阀不能防止油被吸入真空系统。
如果真空泵配有气镇阀(选配),少量空气通过气镇阀进入真空泵腔内,连同工艺气体一起被压缩,这样,可防止真空泵腔内工艺气体中可凝气体成份的凝结。
气镇阀配有节流阀可部分获全部关闭。
为了提高真空泵工作特性,在真空泵泵体排气口处安装了排气阀。
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