Aera数字压力不敏感型FC-PI9800

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产品型号：FC-PI9800系列

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产品简介：压力不敏感型FC-PI980系列流量控制器

特点：PI980 采用独创技术，与上一代技术相比，在响应速度、流量安定性、计量精度方面都得到提高，充分实现了过程的实时控制。优异的安定特性改善了腔室工艺的重复性，提高了生产效能。

优点：PI-980 MFC在传统的热式流量计构造基础上，应用本公司独有的Neural step技术，实现了压力传感器、温度传感器的一体化控制，降低了气体面板组件的成本，同时具有多介质、多量程的功能，减少了用户备品的数量，进一步减低成本。新一代MFC技术采用久经现场验证的D 980系列生产平台的设计，集成了自诊断功能，可延长设备的运行时间和快速、简单的排除故障。

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