详细介绍:
欧瑞康莱宝的MAG digital 系列磁悬浮分子泵
抽速:8301/s~32001/s
五轴定位双端磁悬浮轴承系统,自平衡性能好全无油,耐粉尘、抗气流冲击
转子采用高强度铝合金,一次高速铣削成形,应力小,强度高,耐冲击,高温变形量小
转子叶片不易蜷曲、打碎;转子长期运行温度可高达120℃
转子及定片均采用莱宝专利技术的KAPLAR涂层
较镀镍的转子具有更强的防腐蚀性能,适用于抽除腐蚀性强的工艺气体
降低气流与转子叶片摩擦产生的热量,降低转子运行温度,有利于延长转子寿命
叶片镀KAPLAR的转子较镀镍的转子重量更轻
保护轴承为陶瓷轴承寿命长,无需更换保护轴承
高真空端连接采用ISO-F,连接螺栓强度高,充分保障安全
智能化电源,无需UPS 带托动级,前级耐压在2mbar以上
分子泵运行温度可调节,使其充分适应不同工艺制程。
最先进的数字控制技术
运行速度、温度可设置
运行数据记录储存,提供多达180条运行信息
磁悬浮轴承及泵运行温度采用数字化控制,信号处理速度快,系统反应时间短
转子受气流冲击或杂物不均匀沉积在叶片而转子动平衡变化时,磁场补偿反应时间
在气流长时间(2分钟以上)过大,而使泵负载过高,发热量过大事,泵速会快速自动调节,使泵温下降到正常水平。
控制器与泵无识别性,可互换
免维护
典型应用:
所有半导体主要制程;刻蚀、化学气相沉淀及离子注入
科研领域
镀膜