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气体循环冷却罗茨真空泵主要由转子、泵体、冷却器等组成,转子在泵腔内每旋转120度并完成一次吸、排气的过程。冷却气体从泵体的两侧进入泵的吸气腔,使泵不会因压缩气体而出现过热,但对泵的抽气性能没有任何影响。抽气效率、噪声、振动等性能比传统二叶罗茨泵显著提高。
气冷泵的转子采用渐开线的线型结构,转动时无接触且保持恒定间隙。由于该特殊的专利结构,气冷泵可以在高压差和高压缩比下长期可靠运行,既可单独使用,也可多台串联使用,或与其他真空泵组成机组,达到更高真空度来满足各类工艺要求。
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