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罗茨真空泵具有二个三叶型转子,通过一对同步反向旋转高精度齿轮驱动,右图为转子在泵腔内旋转120°,完成一次吸、排气的过程。三叶转子采用渐开线型线,转动时互相不接触并保持恒定间隙。可与多种前级泵配套,采用风冷或水冷方式和多种密封形式,满足不同工艺和工况要求。
比传统二叶型罗茨泵在抽气效率、最大允许压差、温升、振动、噪声等关键性能指标上都具有明显的技术优势。三叶转子采用高精度齿轮传动和精密轴承支承,噪声低、运转更加平稳,在低入口压力下仍具有较大抽气速率。
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