目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉、CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等，主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。 1．控制方式：手动人机界面控制 2．前级泵：双极4旋片真空泵 3．前级泵抽气速率：2.2L/S（对真空环境要求洁净的客户可选配无油干泵） 4．前级泵极限压强：≤5Pa 5．分子泵：FF-100/15051000转/分 6．分子泵抽气速率：140L/S 7．分子泵