上海伯东代理普发涡轮分子泵HiPace 2300

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涡轮分子泵 HiPace® 2300

Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 2300
上海伯东销售维修 Pfeiffer 普发涡轮分子泵 HiPace 2300, 抽速*高可达 2050 l/s 高性能涡轮分子泵. 分子泵通过保护等级 IP54 认证. 高抽速和气体吞吐量. 集成驱动电路, 适用于半导体, 镀膜, 工业和研发行业. 通过分子泵控制器, 监控操作数据保证分子泵的安全性. 集成水冷系统. 分子泵 HiPace 2300 提供防腐蚀款 C 和倒置款 U 供选择.

涡轮分子泵 HiPace 2300 特性

对各种气体的高抽吸能力: 不论是小分子量气体 (H2, He) 和大分子量气体 (Ar, CF4) 都有很高的抽速.
高工艺适用性, 防止进入颗粒, 高气流量
分子泵获得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 认证
防护等级 IP 54, 符合工业环境应用要求
运行数据监控形成的运行安全性
分子泵安装角度可选 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蚀型号
带节流阀和阀门的集成净化气体系统

Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 2300 技术参数

型号	HiPace 2300 TC 1200 DN 250 ISO-K	HiPace 2300 TC 1200 DN 250 ISO-F	HiPace 2300 TC 1200 DN 250 CF-F
Ar 压缩比	>1X108	>1X108	>1X108
H2 压缩比	2X104	2X104	2X104
He 压缩比	3X105	3X105	3X105
N2 压缩比	>1X108
*大预抽真空, N2 hPa	1.8	1.8	1.8
Ar全转速时气体流量hPa l/s	16	16	8
H2 全转速时气体流量hPa l/s	>50	>50	30
He全转速时气体流量hPa l/s	>30	>30	16
N2 全转速时气体流量hPa l/s	28	28	11
操作电压 V AC	90-265	90-265	90-265
*大电流 A	10	10	10
允许*大磁场 mT	7	7	7
Ar抽速l/s	1800	1800	1800
H2 抽速l/s	1850	1850	1850
He 抽速 l/s	2000	2000	2000
N2 抽速l/s	1900	1900	1900
转速 ± 2 % rpm	31500	31500	31500
启动时间 min	4	4	4
极限真空 hPa	1X10-7	1X10-7	5X10-10
重量 kg	35.5	36.6	51.8