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立式双腔晶圆甩干机，高效稳定，多尺寸（1-12寸），可兼容，产品洁净度高，碎片率低。应用于半导体，光伏等行业。
晶圆（wafer）
硅片（wafer)
磷化铟（Inp）
氮化镓（GaN)
砷化镓（GaAs)
碳化硅（SiC)
钽酸锂(LT)
铌酸锂（LN）
蓝宝石
光学材料
陶瓷材料
