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采用铝制主体
均一的烤焙温度
轻量、紧凑
气体溢出少
重金属污染少
耐氟素气体腐蚀性强
可更换波纹管(波纹管密封型)
可更换波纹管组件，降低维护成本并减少废弃物。
轻量、紧凑
主体小，流导大。耐氟素腐蚀性出色。
气体溢出少
由于气体溢出少，泵的功率消耗小，排气时间也短。
重金属污染少
不含Ni(镍)、Cr(铬)等重金属，
溅射率也很小，对半导体晶片的重金属污染较少。
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