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AF镀膜设备厂家 至成镀膜机制造厂家 镀膜设备

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常用的光学镀膜有哪些?


二,光学薄膜

减反射膜是应用Zui广、产量大的一种光学薄膜,它至今仍是光学薄膜技术中重要的研究课题,研究的重点是寻找新材料,设计新膜系,改进淀积工艺,使之用Zui少的层数,简单、Zui稳定的工艺,获得尽可能高的成品率,达到理想的效果。对激光薄膜来说,减反射膜是激光损伤的薄弱环节,如何提高它的破坏强度,也是人们Zui关心的问题之一。

反射膜

它的功能是增加光学表面的反射率。反射膜一般可分为两大类,一类是金属反射膜,一类是全电介质反射膜。还有把两者结合起来的金属电介质反射膜。

一般金属都具有较大的消光系数,当光束由空气入射到金属表面时,进入金属内部的光振幅迅速衰减,使得进入金属内部的光能相应减少,而反射光能增加。消光系数越大,光振幅衰减越迅速,进入金属内部的光能越少,反射率越高。人们总是选择消光系数较大,光学性质较稳定的那些金属作为金属膜材料。在紫外区常用的金属薄膜材料是铝,在可见光区常用铝和银,在红外区常用金、银和铜,铬和铂也常用作一些特种薄膜的膜料。由于铝、银、铜等材料在空气中很容易氧化而降低性能,必须用电介质膜加以保护。常用的保护膜材料有一氧化硅、氟化镁、二氧化硅、三氧化二铝等。金属反射膜的优点是制备工艺简单,工作的波长范围宽;缺点是光损耗大,反射率不可能很高。为了使金属反射膜的反射率提高,可以在膜的外侧加镀几层一定厚度的电介质层,组成金属电介质反射膜。需要指出的是,金属电介质反射膜增加了某一波长(或者某一波区)的反射率,却破坏了金属膜中性反射的特点。



常用的光学镀膜有哪些?


分光膜

根据一定的要求和一定的方式把光束分成两部分的薄膜。分光膜主要包括波长分光膜、光强分光膜和偏振分光膜等几类。

波长分光膜又叫双色分光膜,顾名思义它是按波长区域把光束分成两部分的薄膜。这种膜可以是一种截止滤光片或带通滤光片,所不同的是,波长分光膜不仅要考虑透过光要考虑反射光,二者都要求有一定形状的光谱曲线。波长分光膜通常在一定入射角下使用,在这种情况下,由于偏振的影响,光谱曲线会发生畸变,为了克服这种影响,必须考虑薄膜的消偏振问题。

光强分光膜是按照一定的光强比把光束分成两部分的薄膜,这种薄膜有时仅考虑某一波长,叫做单色分光膜;有时需要考虑一个光谱区域叫做宽带分光膜;用于可见光的宽带分光膜,又叫做中性分光膜。这种膜也常在斜入射下应用,由于偏振的影响,二束光的偏振状态可以相差很多,在有些工作中,可以不考虑这种差别,但在另一些工作中(例如某些干涉仪),则要求两束光都是消偏振的,这就需要设计和制备消偏振膜。



真空镀膜机镀铝时,应该注意哪些事项


用真空镀膜设备镀铝膜,基本工艺流程为:预真空─离子清洗─镀铝─离子轰击─镀保护膜─放气。预真空对镀膜室抽真空至5×10,2Pa时,充入Ar气430mL,利用2个适当的电极间的低压辉光放电产生的离子轰击达到清洗和辅助预热镀膜基底的作用,轰击时间为150s;镀铝部分蒸发器快速升至高温,铝丝从预热、熔化、蒸发镀铝到镀铝完成的时间为30s多;采用二次离子轰击,去除膜表面粒状颗粒,使膜层更加致密,轰击时间为80s;镀保护膜时间为(200±50)s,真空度为3×10?2Pa,由充入的硅油流量加少量Ar气来控制真空度,硅油流量由调节阀控制,直至放气结束。


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