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真空镀膜机真空室形变带来的影响
为尽量减小真空镀膜机真空室形变带来的影响，我们将导轨、丝杆等传动件固定于一个刚性的中间层上，其与真空室底壁之间采用点、线、面活性支撑，以吸收和隔离形变，并设置形变补偿调节机构，在系统抽真空之前，参照有限元计算提供的理论数据预设适当的补偿量，以使其在真空状态下达到平衡。
为了验证有限元计算的结果，对真空室的形变和补偿进行了测试。将四只千分表定位在工作台安装基点的真空壁外侧，当真空室由大气抽到真空时，记录各千分表的变化量，经处理后为用激光自准直仪调整设备形变补偿。
由水平调整的自准直仪发出一束激光穿过真空室的玻璃窗照射固定于工作台上的反射镜，在大气环境下调整设备形变补偿调节机构，使反射光束进入自准直仪接收视场，记录两维角度偏差。
按有限元计算的真空状态下的补偿量调整，显然，此时的反射光束已远离自准直仪接收视场，但一旦真空室进入真空状态，反射光束又重新进入自准直仪的接收视场，记录此时的两维角度偏差。前后两次显示的两维角度偏差基本吻合。
工作台运动副的润滑及对真空环境的影响工作台的扫描是处于真空室环境下的频繁运动，除用滚动代替滑动来降低摩擦系数外，在导轨、丝杆等运动副之间采取良好的润滑是保证刻蚀装置长时间正常运行的必要条件。
真空中的润滑的方式通常有镀固体润滑膜和直接使用润滑剂等镀膜容易破坏导轨的运动精度，且工艺复杂。
为此，我们测试了一种市场商品――二硫化钼润滑剂的润滑效果，将该润滑剂直接喷涂在运动副表面，并用四极质谱仪分析了该润滑剂在真空中挥发出的气体的主要成分。
真空镀膜机的安装
真空镀膜机应安置于清洁而干燥的室内。镀膜工作室的环境应是空气清洁，设有空调设备，室温一般在23~25℃之间，相对湿度为60%左右。
工作室温度太高会影响抽速，温度太低则机械泵难以起动。室内太潮湿会影响膜层质量。
由于大多数膜料都有不同程度的毒性，当钟罩打开时会飞散在室内空气中，在钟罩附近应安装抽风设备，以便在钟罩打开时抽掉真空室内的有毒气体与飞扬的碎屑。
镀膜机应装在靠墙处，但四周应留有检修与操作空间，并有冷却水源，水压约为3个大气压。镀膜机的防振要求不高，无需特殊机座，但必须安置平稳，不应有振动。
真空镀膜机的检漏方法
真空镀膜机厂家介绍查看漏气状况是确保真空镀膜机真空度的一项查看办法，简称检漏，真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的，检漏是必不可少的。
通常真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的衔接位细缝中发生，当抽气系统抽气后使真空室内压强降低，外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内，形成真空度降低。真空镀膜机厂家介绍在检漏的过程中，需求注意一些问题，才能把检漏作业做好。
