PE-4B等离子去胶机.等离子打胶机.等离子清洗机

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产品详情

品牌	CRF诚峰智造	型号	CRF-VPO
用途	等离子去胶	别名	等离子打胶清洗

CRF-VPO等离子去胶机主要技术参数

1、使用电源：三相四线380v50hz，功耗2.6kw。

2、反应室结构：圆筒形反应室,多层平板电极，反应室尺寸φ200mm×500mm。

3、装片量：2” -56块。

4、射频电源：13.56mhz

5、配用真空泵：2x-8

6、去胶工作时真空度： 15-28pa。

7、去胶速率：大于50nm/min。

8、时间控制：小于99分钟。

9、气路系统：3路。

10、外型尺寸：长1250mm×宽800mm×高1350mm

11、整机重量：196kg。

12、配用真空泵重量:160kg。

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