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1.空化作用
空化作用就是超声波以每秒两万次以上的压缩力和减压力交互性的高频变换方式向液体进行透射。在减压力作用时，液体中产生真空核群泡的现象，在压缩力作用时，真空核群泡受压力压碎时产生强大的冲击力，由此剥离隔膜泵表面的污垢，从而达到精密洗净目的。在超声波清洗过程中，肉眼能看见的泡并不是真空核群泡，而是空气气泡，它对空化作用产生抑制作用降低效率。吸有液体中的空气气被完全脱走，空化作用的真空核群泡才能达到效果。
2.直进流作用
超声波 在液体中沿声的传播方向产生流动的现象称为直进流。声波强度在0.5w/cm2时，垂直于振动面产生流，流速约为10cm/s。通过此直进流使隔膜里的曲柄连杆机构、柱塞、液缸里堆积的微油污垢被搅拌，污垢表面的清洗液也产生对流，溶解污物的溶解液与新液混合，使溶解速度加快，对污物的搬运起着很大作用。
3.加速作用
液体粒子推动产生的加速度，在超声波作用下加速度撞击粒子进入隔膜泵的隔膜、泵体、吸入阀和排出阀各个部位的缝隙和微孔进行超精密清洗。
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