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英国Ossila显微镜载玻片紫外线臭氧清洁机L2002A3-UK

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产品详细介绍

英国Ossila显微镜载玻片紫外线臭氧清洁机L2002A3-UK

Ossila紫外线臭氧清洁机能够在几分钟内去除基材和样品表面的污染物,提供超清洁表面。使用高功率紫外线光源产生臭氧并分解有机表面污染物,该程序可以产生接近原子级清洁的表面,而不会对样品造成任何损坏。由表面污染物产生的挥发性化合物会迅速蒸发,使样品为下一部分实验做好准备。

 

紫外线臭氧清洁是如何工作的?

紫外线臭氧清洁依赖于高强度紫外线光源的使用,该光源用两种特定波长的光照射待清洁的表面。通常使用低压汞蒸气放电灯,如Ossila紫外线臭氧清洁机中的合成石英紫外线格栅灯,其在184nm和254nm处具有两个主要发射峰。在照射时,存在于空气中的分子氧通过长度低于200nm的辐射而离解。这导致形成两个氧自由基。这些自由基继续与的分子氧反应,形成臭氧分子。

 

使用254nm的光来激发存在于样品表面上的有机物种。这个过程增加了污染物与臭氧的反应性。反应后,材料从表面上被清除。

 

单元本身占地面积很小,但照明面积很大。托盘可容纳直径高达153mm(6英寸)的晶片,这允许清洁各种样品,包括:

显微镜载玻片

6英寸晶圆

AFMjianduan

划片基质

培养皿

建议的Zui大基板厚度为12mm

 

技术规范:

紫外线规格、灯具规格

灯型:低压汞放电灯

灯具尺寸:150 mm x 15 mm(长x直径)

灯具数量:4

放电峰值:185nm和254nm

灯寿命T80寿命2000小时

样品辐照度规范

样品在185nm处的紫外线强度为:15mW·cm-2

清洁区域直径:153 mm(6英寸)

曝光时间:1秒至60分钟;数字控制


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