高纯喷涂硅靶材/粉体 接受各类非标定制
喷涂硅靶材 SpraySi Target
产品说明Productdescription
以等离子体为热源，在真空环境，或负压氮气或氩气保护环境下将Si粉末加热到熔融或半熔融状态并高速冲击背管表面形成致密涂层，从而制备出高纯度、低氧含量、高致密度Si靶材。
With plasma as the heat source, high purity, low oxygen content,high density Si targets are produced from Sipowder.The Si powder is heated to molten or semi-molten state invacuum orat a negativepressure of nitrogen (N2)or argon (Ar)and deposited on the surface of backing tube at high speed to form densecoatings.
产品特点Productsfeature
项目 Item |
参数 Specifications |
检测手段 Testingmethod |
纯度Purity（Si+B） |
≥ 99.99% |
|
密度Density |
≥2.2 g/cm3 |
阿基米德密度仪 Archimedesdensimeter |
杂质含量Inclusions |
Fe+Al+Ca: ≤50 ppm B:≤100 ppm O: ≤2000ppm N: ≤500ppm 杂质总和(O、N、B除外): ≤100 ppm Totalimpurity(excludingO, N,B ):≤100 ppm |
ICP |
电阻率 Electricalresistivity |
≤10Ω·cm |
四探针电阻率仪 Four proberesistivity meter |
背管材质 Backingtube
-选用304/316L不锈钢（无磁）。
304/316L stainlesssteel (non-magnetic).
靶材尺寸Dimension
-按照图纸要求加工
According tocustomized drawings.
应用领域Applications
-用于制作SiO2/Si3N4膜，主要用于光学玻璃，触摸屏之AR膜系，Low-E镀膜玻璃，半导体电子，平面显示，触摸屏。
For depositionof SiO2/Si3N4 films,for optical glasses,AR films oftouch panel screens,Low-E glasses,semiconductor devicesandflat panel screens.
| 公司名称 | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司 | 法定代表人 | 张天舒 |
| 营业执照号 | 9134010006654510XE | 发证机关 | |
| 成立时间 | 2013-04-22 | 营业期限 | 2013-04-22 至 2033-04-22 |
| 公司类型 | 张天舒 | 经营状态 | |
| 经营模式 | 职工人数 | ||
| 经营范围 | |||
| 主营产品 | ZO，ITO，喷涂靶材，真空镀膜靶材，磁控溅射靶材，氧化锆/氧化镓/氧化钇等各类粉体，NTC热敏芯片，NTC热敏电阻，NTC温度传感器，陶瓷滤波器，谐振器，微波组件，各类定制品等。 | ||
| 公司简介 | 安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司位于安徽合肥，成立于2013年初，是一家从事高科技新型陶瓷材料及相关产品研发、设计、制造、销售和服务为一体的民营高科技公司，于2022年4月搬迁至合肥经济技术开发区，厂房14000平方米，办公1000平方米。 | ||
